超纯水和蒸馏水在纯度上存在一些差异，但就干净程度而言，它们是相似的。超纯水是指水中杂质被去除到非常低的程度，其纯度非常高，常用于科学研究和工业应用中。蒸馏水是通过蒸馏方法将水中的杂质去除，它也可以达到很高的纯度，常用于实验室和医学应用中。

超纯水和蒸馏水的制备方法不同，超纯水是通过反渗透和离子交换等技术去除水中的杂质，而蒸馏水则是通过蒸馏和冷凝过程去除水中的杂质。因此，超纯水在纯度上可能比蒸馏水更高，但两者在清洁度和安全性方面都没有问题。

总的来说，超纯水和蒸馏水都非常干净，都可以用于科学研究和工业应用，以及实验室和医学应用。但是，它们的制备方法和纯度不同，具体应用需要根据实际需求来选择。